![]() ![]() |
微納加工技術與應用案例
"本書根據(jù)編者在微納加工技術與應用研究生創(chuàng)新課程教學經(jīng)驗的基礎上編撰而成。該課程旨在通過對微納加工技術的課堂講授并結合上機實操,使學生們能夠較全面掌握微納加工關鍵工藝;同時,依托本校微納技術領域的優(yōu)勢團隊,學生們能夠完成以工藝創(chuàng)新為導向的課程設計。通過線上教學、課堂教學、案例示范教學和實踐教學相結合,為學生提供多場景、全方位、理論和實踐結合、案例示范相伴的教學新模式。
本書內(nèi)容覆蓋了微納加工工藝原理與操作、表征與測試方法以及應用創(chuàng)新案例。本書第一篇是微納加工技術與應用綜述;第二篇介紹微納加工關鍵工藝;第三篇是微納技術創(chuàng)新案例,詳細介紹了集成電路、光電、機械、材料等學科領域的十一個基于微納加工技術的前沿課題。 本書可以作為微電子、集成電路、光學工程、物理學等專業(yè)本科生以及工科相關專業(yè)碩士(博士)研究生的專業(yè)選修課教材;本書還可面向從事微納技術研究或?qū)ξ⒓{加工技術感興趣的科研人員及愛好者參考使用。"
你還可能感興趣
我要評論
|