本書(shū)包括了第3代半導(dǎo)體材料、新型半導(dǎo)體器件、設(shè)計(jì)工具與設(shè)計(jì)方法、集成電路工藝技術(shù)等內(nèi)容,涵蓋了從半導(dǎo)體材料、器件、設(shè)計(jì)到工藝技術(shù),立足微電子技術(shù)前沿的最新技術(shù)成果,以培養(yǎng)創(chuàng)新實(shí)踐能力為主線,將專業(yè)教育與創(chuàng)新實(shí)踐教育有機(jī)融合,以培養(yǎng)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)精神為核心,為微電子專業(yè)提供了最新的技術(shù)成果,是微電子專業(yè)的創(chuàng)新與實(shí)踐的最佳指導(dǎo)書(shū)。