《掃描電子顯微分析》是“中國分析測試技術叢書”的一個分冊。內容包括：掃描電子顯微分析常規(guī)的顯微形貌、成分和結構分析，重點反映其新原理、技術和成果，比如數(shù)字式掃描電鏡的結構、鏡筒內探測器、可變真空和低能量電子束等多種工作模式、分辨率指標的測量技術等。書中對較難掌握的分析方法和過程用實例做了講解，如電子背散射衍射花樣的探測和標定、取向測量的校準；對在掃描電鏡基礎平臺上構建的陰極熒光、電子束閘、雙束和多束、同步掃描原子力顯微鏡、光電關聯(lián)激光拉曼、冷凍傳輸、高通量和超快等擴展聯(lián)用技術及應用做了介紹。