隨著當代科技的迅速發(fā)展，微納運動及其實現技術逐漸成為信息產業(yè)和其他高科技產業(yè)領域交叉融合的創(chuàng)新源。微納運動實現技術是微米和納米尺度上的一門新興科學技術，其研究涉及物理、化學,以及力學、光學、機械、電子、生物醫(yī)學等基礎學科和應用學科，廣泛應用于通信、能源、環(huán)境、汽車、國防、航空航天等領域。微納技術已是當今21世紀為引人矚目的高科技發(fā)展的重要研究領域之一，是多學科理論與技術交叉融合的前沿科學技術。
各行各業(yè)對尖端高新技術的需求日益迫切，不同學科領域的微納技術各有特點。雖然陸續(xù)也有些關于微納技術方面的教材和專著出版，但它們一般多是關注某一領域的具體個性。例如，在相關的專業(yè)圖書方面，超精密及微納制造工程技術類往往較多地聚焦在微細加工、微電子制造和微機電系統(tǒng)制造等方面；表面工程類多聚焦在表面成膜和改性的具體工藝技術與方法；納米材料類多傾向于納米織構、制備工藝與方法。而微納器件、微納產品等,主要是對物質在微納米級尺度上實施加工、定位、檢測等微納行為的結果。通常，微納行為的實施離不開微納運動，但在關注高精度微納米級分辨率的同時，還要兼顧大行程操作。在微納米尺度上進行加工時，常規(guī)的機械加工及檢測手段已不再使用。關于微納運動實現技術，尤其是大行程高精度微納運動實現技術的系統(tǒng)介紹，目前國內還缺少相關的專門著作，也沒有將各學科領域中涉及微納尺度的共性關鍵技術進行有機融合、提煉。
本書的目的就是力圖融匯各學科領域的微納技術于一體，使讀者通過閱讀本書獲得對微納技術各領域的一個全面了解；通過對各種不同微納制造技術原理和方法的提煉，使讀者對各種微納制造的共性關鍵技術——微納運動系統(tǒng)結構、工作原理及微納運動實現技術,有一個系統(tǒng)、全面的深度認識。本書的出版必將對微納運動技術的進一步發(fā)展與應用起到積極的促進作用。
本書特別適合作為精密機械工程、機電工程、控制工程、儀器科學與工程、材料科學工程，以及微電子科學等方面本科生、研究生關于微納制造的導論性教材，也可作為醫(yī)工交叉學科及其他相關領域研究生和廣大科學工作者、工程技術人員學習的參考資料。
本書在概述微納技術發(fā)展應用的基礎上，根據工作機理不同，將現行國內外各種形形色色的微納運動平臺裝置歸納為五類，分別介紹了其原理方法和新近研究成果。同時，重點介紹了作者提出的宏宏復合微納運動實現技術的研究成果。宏宏復合微納運動系統(tǒng)具有行程大、剛性大、精度高，以及負載能力強、抗擾性好等突出特點，具有獨到的創(chuàng)新性，較好地解決了大行程、大負載和高精度的矛盾，是其他微納運動系統(tǒng)無法比擬的。
微納運動實現技術前言本書章節(jié)編排合理,邏輯清晰,語句通俗易懂。全書共7章:第1章主要是微納技術及微納技術應用與發(fā)展的綜述；第2章主要介紹了基于智能材料的常見的微納驅動技術類型及特性；第3章主要介紹了微納運動檢測技術；第4章概括性地介紹了微納運動系統(tǒng)控制策略；第5章介紹了基于直線電機的單自由度微納定位實現技術，主要是電磁式和壓電超聲式兩種情況；第6章主要介紹了單自由度宏微復合微納運動實現技術，并討論了非線性因素對微納運動性能的影響和補償策略；第7章重點介紹了本書提出的宏宏復合微納運動實現技術、性能特點及低速性能。
需要指出的是，本書部分章節(jié)是作者在廣泛閱讀和參考微納技術方面的著作及其他相關文獻的基礎上，加入作者評述而編寫的，涉及的他人論述或成果的論文集、著作等均列入參考文獻，方便讀者延伸閱讀，窮原竟委。在此也向這些著作和文獻的作者們表示衷心的感謝。
本書得到了國家出版基金項目和湖北省學術著作出版專項的資金資助。還要指出的是，書中部分內容是在作者主持承擔的國家自然科學基金“一種新型宏宏雙驅動伺服系統(tǒng)及其微量進給特性研究”“一種大行程微納尺度運動實現方法研究”等項目研究成果的基礎上編寫而成的。特別感謝國家自然科學基金的資助和支持。
本書在撰寫過程中，武漢理工大學的陳定方教授、國防科技大學的范大鵬教授，以及廣西大學的蔡敢為教授對本書初稿提出了寶貴中肯的建議，在此向三位同仁表示衷心的感謝。同時，感謝博士研究生杜付鑫、王兆國、于瀚文、蘇哲、劉延棟，以及孟哲、張名楊、郭春麗等多位碩士研究生同學對作者在撰寫本書時的大力協(xié)助。感謝華中科技大學出版社俞道凱、鄧薇等為本書出版付出的辛勤勞動。
由于作者水平有限，書中難免存在不足之處，還望讀者海涵并提出寶貴意見和建議。