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RFMEMS（射頻微機(jī)電系統(tǒng)）是MEMS（MicroElectromechanicalSystem,微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)的重要應(yīng)用領(lǐng)域之一。本書內(nèi)容覆蓋了RFMEMS的理論、設(shè)計(jì)和大部分RFMEMS器件，RFMEMS技術(shù)可望實(shí)現(xiàn)和MMIC的高度集成，使制作集信息的采集、處理、傳輸、處理和執(zhí)行于一體的系統(tǒng)集成芯片（SOC）成

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